凯米斯科技荧光示踪仪守护芯片冷却水系统安全

凯米斯科技荧光示踪仪，于通用半导体有限公司厂区完成部署应用。针对半导体芯片制造冷却水系统开展药剂浓度在线监测， 替代人工取样化验，实现冷却水加药系统闭环自控， 保障精密生产设备稳定运行，助力厂区废水合规管控

芯片制造背后，冷却水系统不容有失

在半导体芯片生产车间，光刻机、刻蚀机、沉积机等核心精密设备在作业过程会产生巨大热量，冷却水系统是保障整套生产装置稳定运转的关键命脉。

冷却水系统一旦出现结垢、管道腐蚀、介质内漏故障，轻则生产工况波动，重则直接损毁高价精密设备，造成芯片良率断崖式下跌，带来高额的经济损失。与此同时，厂区生产废水排放也需要严格合规管控，做好水系统检漏，防范交叉污染风险，是半导体工厂水处理工作的重中之重。

传统依靠人工取样化验的方式，采样频次有限、数据滞后，很难实时捕捉冷却水中药剂浓度的动态变化，药剂投加全凭经验：药剂加注不足，换热器就会面临结垢、腐蚀泄漏风险；药剂加注过量，又会造成物料浪费，还会引发废水指标超标，给环保排放带来压力。

凯米斯科技荧光示踪仪，正是面向半导体高精密生产冷却水场景推出的智能化监测解决方案。将荧光示踪药剂按照配比投加到冷却水系统，仪器实时检测水体荧光强度，换算出水处理药剂实际浓度，联动加药泵实现闭环自动控制。

项目现场验证：在线监测替代人工化验

项目概况

应用场景：通用半导体有限公司芯片生产冷却水循环系统

监测设备：凯米斯科技荧光示踪仪

实现功能：荧光信号检测换算药剂浓度，闭环自控加药泵，24 小时在线连续监测，取代人工取样化验

在通用半导体冷却水系统中，水处理药剂按固定比例混合荧光示踪剂，荧光示踪仪实时采集水样荧光特征信号，直接换算得到循环水中药剂真实浓度。

仪器输出信号对接加药泵控制系统，形成完整闭环调控：

药剂浓度偏低，自动启动加药，规避换热器结垢、管道腐蚀，守护贵重精密换热器设备安全；

药剂浓度超标，自动减少 / 停止加药，减少药剂浪费，同时避免药剂随废水外排造成排放超标风险。

半导体冷却水换热器属于高价值精密装备，一旦发生腐蚀泄漏，会带来难以估量的生产与财产损失。荧光示踪仪持续在线监测，把风险管控前置，不再依赖间断式人工化验，第一时间反馈系统药剂状态。

荧光检测技术：读懂循环水系统的隐秘信号

荧光示踪检测技术核心原理：专用水处理药剂复配荧光示踪组分，该组分具备专属荧光特征，仪器发射特定波长激发光，水样中的示踪物质受激发释放荧光，传感器接收荧光强度信号，通过算法换算，直接得到循环水系统内有效药剂浓度。

不同于间断取样的实验室化验，荧光示踪仪可以做到原位不间断测量，无需试剂耗材，响应速度快，可以及时捕捉冷却水系统药剂浓度波动。

即便面对半导体厂区复杂工况，仪器也可以稳定输出数据，为加药自控、系统检漏、污染预警提供可靠的数据底座。

闭环自控，兼顾设备安全与废水合规

对于半导体芯片工厂而言，冷却水系统监测的价值，不只是得到一组浓度读数，更要实现风险预警、自动调控、排放可控的整套能力。

凯米斯荧光示踪仪接入现场自控系统之后，将荧光信号转化为可执行的控制指令，实现冷却水加药闭环自动化运行：

保护核心生产装备：稳定维持循环水药剂浓度，抑制换热器结垢、腐蚀，杜绝因水系统故障损坏光刻机、刻蚀机等贵重生产设备，保障芯片良率。

降本增效：告别人工频繁取样化验，减少人力投入；精准投加药剂，避免药剂过量造成物料浪费。

环保合规管控：规避药剂过量排入废水，降低废水处理负荷，助力厂区废水稳定达标排放；同时依靠示踪信号变化辅助水系统检漏，防范介质交叉污染。

本次在通用半导体有限公司的项目落地，充分验证了凯米斯科技荧光示踪仪在半导体芯片制造循环冷却水场景的实用价值。在线荧光监测 + 闭环加药控制的方案，为半导体行业冷却水系统的安全稳定运行，提供了一套高效可靠的数字化工具。